一、項目編號：OITC-G********4（招標文件編號：OITC-G********4）
二、項目名稱：中國科學院上海微系統(tǒng)與信息技術研究所超高真空表面激活鍵合模塊加工服務采購項目
三、中標（成交）信息
供應商名稱：蘇州恩歐西智能科技有限公司
供應商地址：蘇州高新區(qū)湘江路****號1號樓南樓4樓
中標（成交）金額：**9.******0（萬元）
四、主要標的信息
| 序號 | 供應商名稱 | 服務名稱 | 服務范圍 | 服務要求 | 服務時間 | 服務標準 |
| 1 | 蘇州恩歐西智能科技有限公司 | 超高真空表面激活鍵合模塊加工服務 | 為了實現(xiàn)高質量的異質材料鍵合，一方面需要對晶圓表面進行活化處理提高鍵合晶圓的表面活性；另一方面需要采用真空鍵合腔體進一步抑制晶圓表面鈍化及副產物的排出 | 本次加工定制旨在提升異質集成材料的自主研制能力，為我國面向聲學濾波器件、片上光源、高功率芯片等應用提供自主可控的材料保障。 | 模塊驗收完成后**個月 | （1）具有表面活化系統(tǒng)； （2）具有4/6英寸鍵合臺； （3）具有對準系統(tǒng)，可見光自動對準； （4）具有真空系統(tǒng)，表面激活鍵合模塊鍵合腔體真空度<9.** ×**-6 Pa； （5）具有常溫鍵合功能； （6）模塊必須有鍵合腔, 過渡腔, 送樣腔三個腔體； （7）鍵合腔體必須有防金屬濺射處理； （8）FAB 活化源數(shù)量≥4個。 |
五、評審專家（單一來源采購人員）名單：
戎偉 王文琦 施燕 劉文升 伊艾倫（用戶代表）
六、代理服務收費標準及金額：
本項目代理費收費標準：****號文
本項目代理費總金額：0.****** 萬元（人民幣）
七、公告期限
自本公告發(fā)布之日起1個工作日。
八、其它補充事宜
本項目采用綜合評分法，中標供應商的評審總得分為**.**分。
附件：招標文件
九、凡對本次公告內容提出詢問，請按以下方式聯(lián)系。
1.采購人信息
名 稱：中國科學院上海微系統(tǒng)與信息技術研究所
地址：上海市長寧路**5號
聯(lián)系方式：胡森 , **1-********
2.采購代理機構信息
名 稱：東方國際招標有限責任公司
地 址：北京市海淀區(qū)丹棱街1號互聯(lián)網金融中心**層
聯(lián)系方式：楊帆 陳小舫 趙倩,**1-********/**0-********/**0-********,xfchen@oitc.com.cn
3.項目聯(lián)系方式
項目聯(lián)系人：楊帆 陳小舫 趙倩
電 話： **1-********/**0-********/**0-********
