沈陽師范大學(xué)多功能場發(fā)射掃描電鏡采購項(xiàng)目招標(biāo)項(xiàng)目的潛在供應(yīng)商應(yīng)在線上獲取招標(biāo)文件,并于****年**月**日 **時(shí)**分（北京時(shí)間）前遞交投標(biāo)文件。
**1-1 多功能場發(fā)射掃描電鏡（數(shù)量：1套、國產(chǎn)）；
一、多功能場發(fā)射掃描電鏡及其配套設(shè)備詳細(xì)參數(shù)
1.電子光學(xué)系統(tǒng)
★1.1高電壓二次電子成像分辨率：≤0.5 nm @** kV；
★1.2低電壓二次電子成像分辨率：≤0.8 nm @**0 V；
★1.3大工作距離成像分辨率：工作距離為** mm時(shí)，1 kV分辨率≤1.0 nm；
1.4著陸電壓：最小著陸能量≤** V，最大≥** kV
▲1.5電子槍：肖特基場發(fā)射電子槍，電子槍自動啟動，自動烘烤。
▲1.6電子束流范圍：最小束流≤1.0 pA，最大束流≥** nA，且連續(xù)可調(diào)。
▲1.7具備搖擺電子束模式，用于選定區(qū)域的電子通道尋找。
▲1.8光闌：自加熱式光闌，確保清潔和無接觸式光闌更換。
1.9對中：具備智能調(diào)整，無需用戶手動對中。
▲1.**配備電子束減速模式：樣品臺偏壓范圍不小于-**** V至+**0 V。
1.**復(fù)合末級透鏡：靜電、無磁場和浸沒式結(jié)合而成的物鏡，可切換三種不同模式，可測試磁性樣品。
2．樣品室和樣品臺
2.1 樣品室：樣品室左右內(nèi)徑≥**0 mm，分析工作距離可實(shí)現(xiàn)≥9 mm，≥**個(gè)探測器/附件接口；
▲2.2樣品臺：五軸馬達(dá)驅(qū)動，最大移動范圍：X ≥ **8 mm，Y≥**8 mm，Z ≥ ** mm，T ≥ -**°~+**°，R = **0°連續(xù)旋轉(zhuǎn)；
2.3 樣品臺最大承重：≥5.0 kg；
▲2.4配備多功能樣品座，可同時(shí)放置≥**個(gè)標(biāo)準(zhǔn)樣品，還能夠滿足預(yù)傾斜樣品、截面樣品、STEM樣品等樣品的檢測需求，安裝樣品不需要工具。
3.探測器(包含5個(gè)獨(dú)立探測器及2款獨(dú)立相機(jī))：
★3.1配備獨(dú)立透鏡內(nèi)高敏感背散射電子探測器1個(gè)，提供**0V以下高清背散射電子圖像。
3.2配備獨(dú)立的鏡筒內(nèi)中位二次電子探測器1個(gè)，可探測樣品表面形貌。
★3.3配備獨(dú)立的鏡筒內(nèi)高位高分辨二次電子探測器1個(gè)，可探測樣品電位襯度。
▲3.4 配備樣品倉內(nèi)二次電子探測器1個(gè)。
★3.5 配備樣品倉內(nèi)背散射探測器，軟件控制伸縮，具備角度分割或環(huán)形分割模式，總分割數(shù)≥8個(gè)，可通過軟件切換分割模式；
★3.6 配備樣品室IR-CCD相機(jī)，用于觀察樣品室內(nèi)位置情況；
★3.7宏觀導(dǎo)航相機(jī)（安裝在樣品倉內(nèi)）1個(gè)，像素≥**0萬，視野范圍≥**0***5mm；具有自動采集圖像，數(shù)字變焦，圖像注釋和圖像保存功能。能夠呈現(xiàn)各樣品在樣品座的位置，結(jié)合軟件，可通過鼠標(biāo)雙擊圖像興趣點(diǎn)，使興趣點(diǎn)自動移動到中心位置；
▲3.8探測器需具備拍攝高襯度背散射像能力，提供聚合物小球上四氧化三鐵磁性顆粒SEM像片作為證明材料。
4.真空系統(tǒng)
▲4.1完全無油真空系統(tǒng)；
4.2 分子泵≥1個(gè)，無油機(jī)械泵≥1個(gè)，離子泵≥2個(gè)；
4.3 機(jī)械泵具備靜音模式，可以在真空度達(dá)到要求后停止機(jī)械泵工作，提升機(jī)械泵使用壽命。
4.4 關(guān)閉樣品艙門后抽真空時(shí)間小于3.5分鐘即可開始掃描樣品。
5.數(shù)字圖像處理系統(tǒng)
▲5.1圖像存儲分辨率：不低于**k×**k像素（非疊加下），需提供操作界面截圖。
5.2單視圖和四視圖圖像可切換顯示。
★5.3一鍵實(shí)現(xiàn)光路自動合軸、自動消像散及自動聚焦。
5.4具備智能掃描模式（**6幀平均或積分, 線積分或平均, 隔行掃描）和DCFI (漂移補(bǔ)償幀積分)模式。
▲5.5能夠提供耐熱鋼純粹的相襯度像（電位襯度）SEM像片，可區(qū)分于通道襯度。
6.應(yīng)用軟件
▲6.1 配置自動圖像拍照和拼接軟件，可實(shí)現(xiàn)不小于**個(gè)區(qū)域****張圖像的自動拍照和圖像拼接，可實(shí)時(shí)對已選定視場進(jìn)行回溯。提供4 x ** mm奧氏體鋼拋光后的無縫拼接背散射電子圖像。
▲6.2 應(yīng)具備取消/重做功能，可返回任意一步操作。
6.3 應(yīng)具有樣品臺圖像導(dǎo)航功能。
6.4 應(yīng)具有雙擊鼠標(biāo)移動樣品功能。
6.5 應(yīng)具有鼠標(biāo)拖曳式放大及對中功能。
6.6 應(yīng)具有基礎(chǔ)操作/應(yīng)用的向?qū)А?
▲6.7 四活動窗口顯示，可同時(shí)顯示≥4幅不同探測器圖像。
7.附屬配件
▲7.1多功能控制面板1套，可控制焦距、放大倍率、對比度、亮度等參數(shù)。
8.配置能譜儀一套，用于材料微區(qū)成分分析；
★8.1探頭類型：硅漂移探頭（電制冷），能譜儀有效窗口面積不小于** mm 2 ；軟件控制探頭伸縮；具備漂移矯正、實(shí)時(shí)定量面分布圖、實(shí)時(shí)譜峰剝離面分布圖、相分布圖功能。
8.2 能量分辨率：優(yōu)于**9 eV@Mn Kα；
8.3 分析元素范圍：Be（4）～Am（**）號元素
▲8.4 EDS操作完全集成在電鏡用戶界面中（提供軟件截屏），由一套軟件控制；成像及能譜緊密集成以實(shí)時(shí)譜采集和處理，可以快速獲取數(shù)據(jù)；
▲8.5 能譜與電鏡的售后服務(wù)均由電鏡廠家工程師負(fù)責(zé)，提供電鏡廠家對能譜及電鏡售后服務(wù)的承諾函。
8.6具備背底扣除功能。
8.7具備自動譜峰識別功能
8.8譜圖自動校準(zhǔn)功能，能自動去除和峰、逃逸峰；
▲8.9 軟件配備漂移校準(zhǔn)功能，用于校準(zhǔn)因樣品導(dǎo)電不佳或長時(shí)間面掃描導(dǎo)致的圖像漂移
▲8.**能譜儀探頭具有遠(yuǎn)工作距離、標(biāo)準(zhǔn)工作距離和超近工作距離三個(gè)元素信息采集位置。
8.**可以進(jìn)行大面積面分布采集和拼接。
9.配件：配備空壓機(jī)和冷卻循環(huán)水系統(tǒng)各1套；配備UPS不間斷電源1套；
★9.1備用電子槍：至到貨之日起免費(fèi)提供可保障電鏡正常使用**年所需的電子槍(或提供2根備用電子槍)、光闌耗材（非人為原因損壞或自然災(zāi)害導(dǎo)致的損壞）并免除由此產(chǎn)生的更換燈絲、光闌的人工費(fèi)。
二、電鏡配套顯微共聚焦拉曼光譜成像系統(tǒng)詳細(xì)參數(shù)
2.1光譜儀
★2.1.1光譜儀設(shè)計(jì)：為保證儀器的高通光效率和高靈敏度，采用自動聚焦透射式共軸設(shè)計(jì)單級光譜儀，無色差，無像差。光譜儀焦距：≤**0mm。
2.1.2為避免激光器發(fā)熱，影響儀器光路系統(tǒng)穩(wěn)定性，激光器不得內(nèi)置于儀器當(dāng)中。
2.1.3為確保儀器重心穩(wěn)定性、避免顯微鏡白光光源加熱光譜儀和光譜儀研究級品質(zhì)，光譜儀不可放置在顯微鏡的上部。
2.1.4系統(tǒng)總通光效率大于**%。
▲2.1.5高靈敏度：硅三階峰（在**** cm -1 ）的信噪比≥**:1，并能觀察到四階峰。檢測條件：使用單晶硅片，波長**2 nm，激光到達(dá)樣品功率**mW，狹縫寬度（或針孔）≤**微米，需使用≥****線高分辨光柵，曝光時(shí)間**0秒，累加次數(shù)3次（或曝光時(shí)間**秒，累加次數(shù)5次），binning等于1，顯微鏡頭為x**0倍。
2.1.6光譜范圍：**0nm 到****nm，全光譜范圍內(nèi)可快速連續(xù)掃描，無接譜。其中：
**2nm激發(fā)波長，光譜范圍：**-**** cm -1
**5nm激發(fā)波長，光譜范圍：**-**** cm -1
后期可根據(jù)實(shí)驗(yàn)要求升級激發(fā)波長范圍值5-****0 cm -1 .
2.1.7不同波長瑞利濾光片需自動切換，采用三點(diǎn)精確定位技術(shù)，轉(zhuǎn)臺采用光柵尺反饋控制系統(tǒng)，確保精度和重復(fù)性。
★2.1.8標(biāo)準(zhǔn)光譜分辨率：0.8 cm -1 。檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)：使用氖燈作為信號源，≥****刻線/毫米光柵，測試**5nm發(fā)光線，其半高全寬小于等于1波數(shù)（FWHM≤1 cm -1 ）。
2.1.9配置高分辨率光柵，軟件控制自動轉(zhuǎn)換。并能實(shí)現(xiàn)光柵連續(xù)轉(zhuǎn)動的全譜掃描方式，保證高分辨率下的無接譜，采用背靠背雙光柵轉(zhuǎn)臺避免儀器校準(zhǔn)誤差，光柵控制采用光柵尺反饋控制系統(tǒng)控制光柵的精確定位和重復(fù)性。
★2.1.**光柵使用****（NIR）、****（Vis）刻線/毫米高分辨率光柵，并能軟件控制自動轉(zhuǎn)換。并能實(shí)現(xiàn)光柵連續(xù)轉(zhuǎn)動的全譜掃描方式，保證高分辨率下的無接譜。光柵需采用雙光柵背靠背轉(zhuǎn)臺，避免多塔輪光柵轉(zhuǎn)臺造成的旋轉(zhuǎn)偏差。
▲2.1.**光譜重復(fù)性：≤ ±0.** cm -1 。檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)：使用表面拋光的單晶硅做樣品，采用**0×物鏡，≥****刻線/毫米光柵，重復(fù)**次。觀測硅拉曼峰（**0 cm -1 ），**0峰中心位置重復(fù)性≤±0.** cm -1 。
2.1.**切換不同的激發(fā)波長可自動聚焦透鏡組，保證每個(gè)透鏡**%以上的拉曼信號透過率。
2.1.** CCD探測器：應(yīng)使用紫外和近紅外同時(shí)增強(qiáng)型CCD探測器，像素≥*******6，響應(yīng)范圍**0nm-****nm，半導(dǎo)體制冷到-**℃，且無需等待恢復(fù)到室溫，可直接關(guān)機(jī)，為確保成像速度，最短積分時(shí)間0.**1秒。
★2.1.**濾光片轉(zhuǎn)臺、光柵轉(zhuǎn)臺等齒輪傳動部件，具備光柵尺反饋補(bǔ)償系統(tǒng)，以避免因齒輪長期轉(zhuǎn)動磨損而影響定位精度。直線光柵尺SDE＜** nm；圓光柵尺SDE＜0.2 arc second。
2.2激光器
2.2.1 **2nm激發(fā)波長，外置激光器功率≥**0 mW，隨機(jī)一套。
2.2.2 **5nm激發(fā)波長，外置激光器功率≥**0mW，隨機(jī)一套。
2.2.3儀器可升級到6種不同激發(fā)波長以上，包含深紫外波長（**5nm，**4nm，**6nm， **3nm，**8nm等）、紅外波長（****nm等）等更多激發(fā)波長。
2.2.4各波長均使用兩片瑞利濾光片和一片用于去除等離子線的干涉濾光片，儀器阻擋激光瑞利散射水平好于** ** 。
▲2.2.5不同激發(fā)波長采用獨(dú)立的，按波長獨(dú)立優(yōu)化的自由空間激光入射光路，非采用光纖耦合，以保證每個(gè)波長均有最優(yōu)的通光效率，避免互相影響。切換波長時(shí)，激光光路采用計(jì)算機(jī)控制全自動切換。
★2.2.6各個(gè)波長均配有激光擴(kuò)束器，使激光光斑尺寸在焦平面上連續(xù)可調(diào)，**倍標(biāo)準(zhǔn)物鏡下，光斑尺寸可在1μm-**μm連續(xù)變化，并能連續(xù)改變到樣品上的激光功率密度，以方便信號弱且怕燒樣品的檢測。
2.2.7計(jì)算機(jī)控制激光多級衰減片，以方便針對不同樣品調(diào)整激光功率。
2.3智能控制功能
2.3.1切換波長時(shí)，采用計(jì)算機(jī)控制全自動切換激光器、濾光片、光柵等光學(xué)元件。
2.3.2內(nèi)置標(biāo)準(zhǔn)樣品：自動準(zhǔn)直激光到樣品的激發(fā)光路、樣品至探測器的拉曼信號傳遞光路。
2.3.3自動定期儀器狀態(tài)校準(zhǔn)、并自動調(diào)節(jié)準(zhǔn)直光路，保證儀器最佳性能狀態(tài)；可以遠(yuǎn)程診斷主機(jī)工作狀態(tài)。
2.3.4自動拉曼信號強(qiáng)度校正功能：內(nèi)置標(biāo)準(zhǔn)白光光源，軟件自動校準(zhǔn)拉曼光強(qiáng)度，消除不同波長信號的響應(yīng)差異。
2.3.5自動波長校準(zhǔn)功能：內(nèi)置標(biāo)準(zhǔn)氖燈光源，自動實(shí)現(xiàn)全光譜自動校準(zhǔn)，保證光譜峰位準(zhǔn)確度。
2.3.6拉曼信號采集模式與白光照明模式自動切換。
2.4共焦技術(shù)
▲2.4.1為保證系統(tǒng)靈敏度，需采用新型數(shù)字化針孔真共焦顯微技術(shù)（數(shù)字化控制狹縫和CCD區(qū)域，需提供相關(guān)證明材料），以避免傳統(tǒng)機(jī)械針孔式共焦帶來儀器的不穩(wěn)定性和復(fù)雜的光路調(diào)整。
2.4.2軟件控制自動調(diào)整狹縫大小，在**-****um范圍內(nèi)連續(xù)可調(diào)。
2.4.3空間分辨率：在x**0倍鏡頭下，使用**2nm激發(fā)波長測試單晶硅片，橫向分辨率≤0.**微米，光軸方向縱向分辨率≤1微米，共焦深度連續(xù)可調(diào)。
2.5共焦顯微鏡
★2.5.1高穩(wěn)定性研究級顯微鏡，需配置**X原裝目鏡。顯微放大倍數(shù)：＞****倍。
2.5.2物鏡：5X、**X、長焦**X、**0X物鏡、**X水鏡各一套。
2.5.3顯微鏡廠家原裝透射和反射柯勒照明。
2.5.4隨機(jī)配置≥****萬像素?cái)z像頭，可安全觀察激光光斑，可在計(jì)算機(jī)上顯示存儲圖像。
2.5.5通過調(diào)節(jié)樣品臺高低聚焦樣品，不調(diào)節(jié)物鏡，保證穩(wěn)定性。
2.6數(shù)據(jù)庫（1套）
2.6.1具有譜庫檢索和建庫功能，并提供無機(jī)物、有機(jī)物高分子數(shù)據(jù)庫。
2.7全套軟件包
2.7.1 Windows下光譜專業(yè)軟件包：包括儀器控制、數(shù)據(jù)采集、數(shù)據(jù)處理分析等各項(xiàng)功能。
儀器控制：可完成自動光路調(diào)節(jié)及校準(zhǔn)。
2.7.2數(shù)據(jù)采集：包括單張光譜采集、各種模式的拉曼成像數(shù)據(jù)采集、時(shí)間序列及長時(shí)間自動排隊(duì)程序測試。
2.7.3數(shù)據(jù)處理分析：包括單張光譜分析；多張數(shù)據(jù)的整合及批量處理；成像數(shù)據(jù)分析。
2.8拉曼成像功能模塊
2.8.1配置帶光柵尺反饋控制系統(tǒng)的XYZ三維高精度自動樣品臺
▲2.8.1.1 XYZ自動平臺，掃描范圍：X≥**2 毫米 ，Y≥** 毫米，Z≥**毫米。
2.8.1.2最小步長為≤**納米。
2.8.1.3帶手動操作鼠標(biāo)球，可軟件自動控制驅(qū)動。
2.8.1.4可對樣品測量部位自動定位并進(jìn)行拉曼成像，進(jìn)行分散的多點(diǎn)、線、面掃描和共焦深度的掃描成像。
2.8.1.5采用光柵尺反饋控制系統(tǒng)自動控制克服反向間隙，保證原始點(diǎn)的重復(fù)性，手動及自動移動樣品臺均可記錄位置。
2.8.1.6用軟件可連接攝像頭采集圖像，擴(kuò)展了顯微鏡的視場，也可使自動平臺的掃描區(qū)域擴(kuò)大。
2.8.1.7包括Z軸自動聚焦硬件及軟件。
2.8.2激光實(shí)時(shí)聚焦系統(tǒng)（1套）
2.8.2.1非采用白光預(yù)掃描模式，具備精確的激光實(shí)時(shí)聚焦功能，包括樣品觀察模式，單點(diǎn)拉曼測試模式及快速拉曼掃描成像模式。面掃描拉曼成像時(shí)每點(diǎn)均需實(shí)時(shí)自動聚焦，對于高度動態(tài)變化的樣品，可實(shí)現(xiàn)激光實(shí)時(shí)動態(tài)聚焦及拉曼實(shí)時(shí)原位測試。
2.8.2.2不同激發(fā)波長均采用測試?yán)谋驹醇す庾鰧?shí)時(shí)測距反饋，無色差。
2.8.2.3通過專用激光束分光系統(tǒng)，配合自動平臺實(shí)時(shí)完成超快自動聚焦，自動聚焦響應(yīng)速度≤1ms，且自動聚焦系統(tǒng)與拉曼測試相互獨(dú)立，平行運(yùn)行，無需預(yù)先定位。
2.8.2.4測試?yán)鼈鬟f樣品化學(xué)結(jié)構(gòu)信息的同時(shí)得到樣品的形貌信息，可實(shí)時(shí)記錄樣品的不平整、彎曲及粗糙程度。
2.8.2.5實(shí)時(shí)自動聚焦范圍只受自動載物平臺行程限制，X≥**2 毫米，Y≥**毫米，Z≥**毫米。
2.8.3坐標(biāo)管理軟件（1套）
2.8.3.1坐標(biāo)管理工具，可在不同的顯微鏡系統(tǒng)（例如掃描電子顯微鏡（SEM）和Raman顯微鏡）之間導(dǎo)入和轉(zhuǎn)換坐標(biāo)
2.8.3.2圖像對齊工具，用于對齊和疊加來自多個(gè)顯微鏡系統(tǒng)的圖像
2.8.3.3批量測量可在多個(gè)位置自動執(zhí)行相同的拉曼測量
2.8.3.4通過圖像對齊和旋轉(zhuǎn)進(jìn)行覆蓋圖像的縱橫調(diào)整。
★2.8.4大樣品測試模塊（1套）
2.8.4.1提供延長管，激光可經(jīng)過延長管引出經(jīng)左端鏡頭聚焦在樣品上。
2.8.4.2不占用常規(guī)拉曼測試所需的樣品臺，僅占用一個(gè)物鏡旋口。
2.9配置清單
2.9.1拉曼光譜儀主機(jī) 1套
2.9.2 **2nm激光器及對應(yīng)光路 1套
2.9.3 **5nm激光器及對應(yīng)光路 1套
2.9.4高精度自動樣品臺 1套
2.9.5實(shí)時(shí)激光共焦系統(tǒng)（**2nm和**5nm）各1套
2.9.6坐標(biāo)管理軟件 1套
2.9.7大樣品測試附件 1套
2.9.8數(shù)據(jù)工作站 1套
2.9.9 **倍（NA1.2, WD0.**mm）水鏡 1套
2.9.** ≥****萬像素?cái)z像頭 1套
2.9.** 偏光附件 1套
