項(xiàng)目概況
沈陽工業(yè)大學(xué)智能檢測(cè)與智能運(yùn)維管理實(shí)驗(yàn)中心設(shè)備采購項(xiàng)目（**）招標(biāo)項(xiàng)目的潛在供應(yīng)商應(yīng)在線上獲取招標(biāo)文件,并于****年**月**日 **時(shí)**分（北京時(shí)間）前遞交投標(biāo)文件。
一、項(xiàng)目基本情況
項(xiàng)目編號(hào)：JH**-******-****3
項(xiàng)目名稱：沈陽工業(yè)大學(xué)智能檢測(cè)與智能運(yùn)維管理實(shí)驗(yàn)中心設(shè)備采購項(xiàng)目（**）
包組編號(hào)：**1
預(yù)算金額（元）：******
最高限價(jià)（元）：******
| 一、主體指標(biāo)★1.1真空腔室：尺寸：Ф≥**0mm×≥H**0mm ，前開門結(jié)構(gòu)，頂板焊水線，內(nèi)表面應(yīng)用電拋等清潔處理，焊縫應(yīng)采用氬弧焊接且內(nèi)表面拋光。1.2真空系統(tǒng)組成：復(fù)合分子泵 + 直聯(lián)高速旋片式真空泵 + 高真空閥門 + 數(shù)顯復(fù)合真空計(jì)?！?.3其中分子泵，抽速≥**** L/s；直聯(lián)高速旋片式真空泵為抽速≥ 9L/s。1.4真空極限：設(shè)備空載抽真空 ** 小時(shí)后，可達(dá) 6.0×**？？Pa?！?.5升壓率：≤0.8Pa/h（** 小時(shí)平均值）；停泵 ** 小時(shí)后，設(shè)備真空度≤**Pa?！?.6抽速：從大氣抽至 5.0×**？3Pa，設(shè)備空載時(shí)≤**min；設(shè)備空載且在干燥氮?dú)猸h(huán)境下≤**min。二、基片臺(tái)相關(guān)指標(biāo)★2.1尺寸與樣品規(guī)格：基片臺(tái)尺寸 Φ**0mm，最大樣品尺寸≤ Φ**0mm，配有基片臺(tái)擋板。★2.2旋轉(zhuǎn)功能：旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)速 0～** 轉(zhuǎn)/分鐘（或轉(zhuǎn)速包含該范圍），可調(diào)可控，主軸采用磁流體密封。絕緣與偏壓：基片臺(tái)與腔室絕緣設(shè)計(jì)，可接脈沖偏壓電源。加熱功能：基片臺(tái)環(huán)境溫度可從室溫升至 **0±1℃，采用 PID 智能溫控閉環(huán)控溫，可控可調(diào)，且采用鎧裝加熱器及絕緣、屏蔽等設(shè)計(jì)。三、濺射靶及電源相關(guān)指標(biāo)★3.1濺射靶配置：3 套 3 英寸磁控濺射靶，向上濺射，可濺射磁性材料，各靶配有氣動(dòng)擋板結(jié)構(gòu)?！?.2工作方式：各靶可獨(dú)立、順次、共同工作，采用磁控靶從下向上濺射鍍膜。電源參數(shù)：★3.2直流脈沖濺射電源：1kW，數(shù)字化控制及顯示，共 2 臺(tái)?！?.4科射頻電源：**0W，數(shù)字化控制及顯示，共 1 臺(tái)。3.5脈沖偏壓電源：-1kV，數(shù)字化控制及顯示，共 1 臺(tái)?！?.6高速脈沖 I-V 測(cè)試電壓范圍≥**Vp-p?！?.7高速脈沖 I-V 測(cè)試電流量程至少包含 **0mA、**0mA、**mA、1mA、**0μA、**μA、1μA四、氣路系統(tǒng)相關(guān)指標(biāo)▲4.1質(zhì)量流量控制器及量程：Ar 為 ≥**0sccm；N？為 ≥**sccm；O？為 ≥**sccm。氣路組件：含 Φ6mm 電磁截止閥、三進(jìn)一出混氣管，采用 EP 管道（內(nèi)外拋光金屬管）。五、其他關(guān)鍵指標(biāo)5.1膜厚不均勻性：≤±5%（單靶鍍膜，基片臺(tái) Φ**0mm 范圍內(nèi)）。5.2自動(dòng)恒壓系統(tǒng)：由薄膜規(guī) + 調(diào)節(jié)閥 + 輔助系統(tǒng) + 控制系統(tǒng)組成。▲5.3控制方式：PLC + 觸摸屏控制，可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)一鍵式抽真空，蒸發(fā)鍍膜電源手動(dòng)控制。報(bào)警及保護(hù)：具備缺水報(bào)警及相應(yīng)保護(hù)措施，有完善的邏輯程序互鎖保護(hù)系統(tǒng)。設(shè)備尺寸：長(zhǎng) × 寬 × 高為 ≥****mm×≥****mm×≥****mm。★5.4支持收集平臺(tái)中所有終端硬件配置信息，包括終端名稱、設(shè)備內(nèi)存容量、最近運(yùn)行時(shí)間、合計(jì)運(yùn)行時(shí)間、硬件變更和記錄信息等，便于實(shí)驗(yàn)室設(shè)備管理（提供此功能界面截圖證明）?！?.5儀器設(shè)備綜合管理平臺(tái)具備全生命周期管理功能、運(yùn)行數(shù)據(jù)分析、設(shè)備遠(yuǎn)程界面、設(shè)備狀態(tài)分析、接口管理等功能（提供此功能界面截圖證明）。 |
合同履行期限：合同簽訂后的**日內(nèi)將所投產(chǎn)品運(yùn)抵交貨地點(diǎn)并安裝調(diào)試完畢。
需落實(shí)的政府采購政策內(nèi)容：中小企業(yè)；監(jiān)獄企業(yè)；殘疾人福利性單位；節(jié)能產(chǎn)品、環(huán)境標(biāo)志產(chǎn)品；列入《創(chuàng)新產(chǎn)品和服務(wù)目錄》內(nèi)的產(chǎn)品、服務(wù)等政府采購相關(guān)政策。
本項(xiàng)目（是/否）接受聯(lián)合體投標(biāo)：否
二、供應(yīng)商的資格要求
1.滿足《中華人民共和國政府采購法》第二十二條規(guī)定。
2.落實(shí)政府采購政策需滿足的資格要求：本項(xiàng)目專門面向中小微企業(yè)采購，供應(yīng)商所投產(chǎn)品廠商須為中型或小型或微型企業(yè)，殘疾人福利性單位、監(jiān)獄企業(yè)視同小型和微型企業(yè)；
3.本項(xiàng)目的特定資格要求：無
三、政府采購供應(yīng)商入庫須知
參加遼寧省政府采購活動(dòng)的供應(yīng)商未進(jìn)入遼寧省政府采購供應(yīng)商庫的，請(qǐng)?jiān)旈嗊|寧政府采購網(wǎng) “首頁—政策法規(guī)”中公布的“政府采購供應(yīng)商入庫”的相關(guān)規(guī)定，及時(shí)辦理入庫登記手續(xù)。填寫單位名稱、統(tǒng)一社會(huì)信用代碼和聯(lián)系人等簡(jiǎn)要信息，由系統(tǒng)自動(dòng)開通賬號(hào)后，即可參與政府采購活動(dòng)。具體規(guī)定詳見《關(guān)于進(jìn)一步優(yōu)化遼寧省政府采購供應(yīng)商入庫程序的通知》（遼財(cái)采函〔****〕**8號(hào)）。
四、獲取招標(biāo)文件
時(shí)間：****年**月**日**時(shí)**分至****年**月**日**時(shí)**分（北京時(shí)間，法定節(jié)假日除外）
地點(diǎn)：線上獲取
方式：線上
售價(jià)：免費(fèi)
五、提交投標(biāo)文件截止時(shí)間、開標(biāo)時(shí)間和地點(diǎn)
****年**月**日 **時(shí)**分（北京時(shí)間）
地點(diǎn)：遼寧政府采購網(wǎng)電子評(píng)審系統(tǒng)上傳提交電子文件。備份文件遞交至遼寧工程招標(biāo)有限公司開標(biāo)樓會(huì)議室（沈陽市和平區(qū)南九馬路**號(hào)）
六、公告期限
自本公告發(fā)布之日起5個(gè)工作日。
七、質(zhì)疑與投訴
供應(yīng)商認(rèn)為自己的權(quán)益受到損害的，可以在知道或者應(yīng)知其權(quán)益受到損害之日起七個(gè)工作日內(nèi)，向采購代理機(jī)構(gòu)或采購人提出質(zhì)疑。
1、接收質(zhì)疑函方式：線上或書面紙質(zhì)質(zhì)疑函
2、質(zhì)疑函內(nèi)容、格式：應(yīng)符合《政府采購質(zhì)疑和投訴辦法》相關(guān)規(guī)定和財(cái)政部制定的《政府采購質(zhì)疑函范本》格式，詳見遼寧政府采購網(wǎng)。
質(zhì)疑供應(yīng)商對(duì)采購人、采購代理機(jī)構(gòu)的答復(fù)不滿意，或者采購人、采購代理機(jī)構(gòu)未在規(guī)定時(shí)間內(nèi)作出答復(fù)的，可以在答復(fù)期滿后**個(gè)工作日內(nèi)向本級(jí)財(cái)政部門提起投訴。
八、其他補(bǔ)充事宜
1.本項(xiàng)目采用全流程電子招投標(biāo)，參與本項(xiàng)目的供應(yīng)商須自行辦理好CA鎖，供應(yīng)商除在電子評(píng)審系統(tǒng)上傳投標(biāo)文件外，應(yīng)在遞交投標(biāo)文件截止時(shí)間前提交按采購文件規(guī)定的介質(zhì)形式（U盤）存儲(chǔ)的可加密備份文件，并承諾備份文件與電子評(píng)審系統(tǒng)中上傳的投標(biāo)文件內(nèi)容、格式一致，備系統(tǒng)突發(fā)故障使用。供應(yīng)商僅提交備份文件的，投標(biāo)無效。詳見遼寧政府采購網(wǎng)《關(guān)于完善政府采購電子評(píng)審業(yè)務(wù)流程等有關(guān)事項(xiàng)的通知》 遼財(cái)采函{****} **3號(hào)。 2.供應(yīng)商自行準(zhǔn)備電子設(shè)備確保能夠自行報(bào)價(jià)及解密。
九、對(duì)本次招標(biāo)提出詢問，請(qǐng)按以下方式聯(lián)系
1.采購人信息
名稱： 沈陽工業(yè)大學(xué)
地址： 沈陽經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)沈遼西路**1號(hào)
聯(lián)系方式：**4-********
2.采購代理機(jī)構(gòu)信息：
名稱：遼寧工程招標(biāo)有限公司
地址：沈陽市和平區(qū)南九馬路**號(hào)
聯(lián)系方式：**4-********
郵箱地址：lnzb**9@**3.com
開戶行：中國農(nóng)業(yè)銀行沈陽和平大街支行
賬戶名稱：遼寧工程招標(biāo)有限公司
賬號(hào)：****************0
3.項(xiàng)目聯(lián)系方式
項(xiàng)目聯(lián)系人：?jiǎn)躺撇?、李勃、胡鐵軍、姜北、蘇美玲、袁鶴銘、趙蔓彤
電話：**4-********
