日期: ****年 ** 月 ** 日
招標編號: ****-****6HW****1 (****SG-**HW**-****)
日期:****年**月**日
招標編號: ****-****6HW****1(****SG-**HW**-****)
項目名稱:帶磁控沉積的離子束刻蝕機采購
深圳市閃購信息科技有限公司受 深圳國際量子研究院 委托對下列產(chǎn)品及服務進行國際公開招標,于 ****年**月**日 發(fā)布招標公告。本次招標采用公開招標方式,現(xiàn)邀請合格投標人參加投標。
1. 招標條件
1.1 項目概況:購置 帶磁控沉積的離子束刻蝕機采購1套 。
1.2 資金到位或資金來源落實情況:資金已落實
1.3 項目已具備招標條件的說明:已具備招標條件
2. 招標內(nèi)容
2.1 項目實施地點:廣東省深圳市
2.2 招標產(chǎn)品列表:
| 序號 | 產(chǎn)品名稱 | 主要技術參數(shù) | 數(shù)量 | 交貨時間 |
| 1 | 帶磁控沉積的離子束刻蝕機采購 | *最大樣品尺寸直徑6英寸,兼容4英寸 (載盤式設計) 刻蝕速率 ≥ ** nm/min(6寸晶圓,SiO2膜) *刻蝕均勻性≤ 3 % 6寸晶圓,SiO2膜, (max - min)/(2 x mean)) *設備采用2.**GHz微波離子源 *離子束有效束徑**0mm *真空腔室?guī)IDEN Analytical Ltd. SIMS終點檢測裝置,設備具有相應的法蘭接口 *真空腔室?guī)Т趴貫R射源接口 *工件臺傾斜角度可調(diào),調(diào)節(jié)范圍0-**0度,控制精度+/-0.1° *磁控濺射源安裝在腔室頂部,用于介質(zhì)的鍍膜工藝,做原位側壁保護 | 1套 | 合同生效后**周內(nèi) |
2.3 簡要技術規(guī)格:具體詳見第八章“貨物需求一覽表及技術規(guī)格”。
3. 投標人資格要求
3.1 投標人應具備的資格或業(yè)績:詳見投標資料表。
3.2 是否接受聯(lián)合體投標:詳見投標資料表。
3.3 未在深圳市閃購信息科技有限公司登記并領購招標文件的潛在投標人不得參加投標。
3.4 未在本項目投標截止時間前,在中國國際招標網(wǎng)(http://www.chinabidding.com)成功注冊的投標人,不得參加投標。
4. 招標文件的領購
4.1 招標文件領購開始時間: ****年**月**日 (節(jié)假日除外)上午9時 ** 分至**時3 0 分,下午**時 ** 分至**時 ** 分(北京時間)
4.2 招標文件領購結束時間:****年 **月** 日**時 ** 分(北京時間)
4.3 招標文件領購地點:本項目采用線上發(fā)售招標文件方式,詳見招標機構網(wǎng)站(http://www.samgou.com)
4 .4 招標文件售價:本招標文件每包售價為****元人民幣或**0美元,售后不退。
5. 投標文件的遞交
5.1 投標截止時間(開標時間):****年 **月** 日**時3 0 分(北京時間)
5.2 投標文件送達地點: 深圳國際量子研究院(深圳市福田區(qū)福田保稅區(qū)檳榔道**號深圳國際量子研究院**4)
5 .3 開標地點: 深圳國際量子研究院(深圳市福田區(qū)福田保稅區(qū)檳榔道**號深圳國際量子研究院**4)
6. 發(fā)布公告的媒體
6.1 本公告同時在《中國國際招標網(wǎng)》、《中國招標投標公共服務平臺》上發(fā)布。 投標人在投標前應在必聯(lián)網(wǎng)(https://www.ebnew.com)或機電產(chǎn)品招標投標電子交易平臺(https://www.chinabidding.com)完成注冊及信息核驗。評標結果將在必聯(lián)網(wǎng)和中國國際招標網(wǎng)公示。
7. 聯(lián)系方式
招標人:深圳國際量子研究院
地址:深圳市福田區(qū)福田保稅區(qū)檳榔道**號
聯(lián)系人:葉 老師
聯(lián)系方式: ****-********-****
招標機構: 深圳市閃購信息科技有限公司
地址:深圳市南山區(qū)桃源街道學苑大道U創(chuàng)大廈東座**2室
郵編: ******
聯(lián)系人:林福宏、林榮航、羅錦燕
電話: ****-********
電子郵箱:bid@samgoutech.com
8. 其他補充說明
8 .1 賬號信息
人民幣賬戶:
開戶名稱:深圳市閃購信息科技有限公司
人民幣賬戶信息(僅接收人民幣用):
銀行帳號:******************9(Swift code: CIBKCNBJ**8)
開戶銀行:中信銀行深圳香蜜湖支行
美元賬戶信息(僅接收美元用):
銀行帳號:************(Swift Code:BKCHCNBJ**A)
開戶行:中國銀行深圳文錦渡支行
8 .2 獲取招標文件的方式
8.2.1 招標文件獲取方式:本項目采用線上發(fā)售招標文件方式,有意購買標書的潛在投標人,請務必于招標文件獲取截止時間前在招標機構網(wǎng)站(https://www.aliwork.com/o/newgysbm?uid=SG-MEIBUG-****)進行在線報名并獲取招標文件。
8.2. 2如有操作疑問請聯(lián)系招標機構。
深圳市閃購信息科技有限公司
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