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帶磁控沉積的離子束刻蝕機(jī)采購國際招標(biāo)公告(1)

發(fā)布日期:2025年9月19日

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帶磁控沉積的離子束刻蝕機(jī)采購國際招標(biāo)公告(1)

日期: ****年 ** **

招標(biāo)編號: ****-****6HW****1 (****SG-**HW**-****)

項目名稱: 帶磁控沉積的離子束刻蝕機(jī)采購

深圳市閃購信息科技有限公司 深圳國際量子研究院 委托對下列產(chǎn)品及服務(wù)進(jìn)行國際公開招標(biāo),于 ****年 ** ** 發(fā)布招標(biāo)公告。本次招標(biāo)采用公開招標(biāo)方式,現(xiàn)邀請合格投標(biāo)人參加投標(biāo)。

1. 招標(biāo)條件

1.1 項目概況: 購置 帶磁控沉積的離子束刻蝕機(jī)采購1套 。

1.2 資金到位或資金來源落實情況:資金已落實

1.3 項目已具備招標(biāo)條件的說明:已具備招標(biāo)條件

2. 招標(biāo)內(nèi)容

2.1項目實施地點(diǎn): 廣東省深圳市

2.2招標(biāo)產(chǎn)品列表:

序號

產(chǎn)品名稱

主要技術(shù)參數(shù)

數(shù)量

交貨時間

1

帶磁控沉積的離子束刻蝕機(jī)采購

*最大樣品尺寸直徑6英寸,兼容4英寸 (載盤式設(shè)計)

刻蝕速率 ≥ ** nm/min(6寸晶圓,SiO2膜)

*刻蝕均勻性≤ 3 % 6寸晶圓,SiO2膜, (max - min)/(2 x mean))

*設(shè)備采用2.**GHz微波離子源

*離子束有效束徑**0mm

*真空腔室?guī)IDEN Analytical Ltd. SIMS終點(diǎn)檢測裝置,設(shè)備具有相應(yīng)的法蘭接口

*真空腔室?guī)Т趴貫R射源接口

*工件臺傾斜角度可調(diào),調(diào)節(jié)范圍0-**0度,控制精度+/-0.1°

*磁控濺射源安裝在腔室頂部,用于介質(zhì)的鍍膜工藝,做原位側(cè)壁保護(hù)

1套

合同生效后**周內(nèi)

2.3簡要技術(shù)規(guī)格:具體詳見第八章“貨物需求一覽表及技術(shù)規(guī)格”。

3. 投標(biāo)人資格要求

3.1 投標(biāo)人應(yīng)具備的資格或業(yè)績:詳見投標(biāo)資料表。

3.2 是否接受聯(lián)合體投標(biāo):詳見投標(biāo)資料表。

3.3 未在 深圳市閃購信息科技有限公司 登記并領(lǐng)購招標(biāo)文件的潛在投標(biāo)人不得參加投標(biāo)。

3.4未在本項目投標(biāo)截止時間前,在中國國際招標(biāo)網(wǎng)(http://www.chinabidding.com)成功注冊的投標(biāo)人,不得參加投標(biāo)。

4. 招標(biāo)文件的領(lǐng)購

4.1招標(biāo)文件領(lǐng)購開始時間: ****年 ** ** (節(jié)假日除外)上午9 ** 至** 時3 0 ,下午** ** **時 ** (北京時間)

4.2招標(biāo)文件領(lǐng)購結(jié)束時間:**2 5 ** ** 日**時 ** (北京時間)

4.3招標(biāo)文件領(lǐng)購地點(diǎn): 本項目采用線上發(fā)售招標(biāo)文件方式,詳見招標(biāo)機(jī)構(gòu)網(wǎng)站(http://www.samgou.com)

4 .4招標(biāo)文件售價:本招標(biāo)文件每包售價為 **** 元人民幣或 **0 美元,售后不退。

5. 投標(biāo)文件的遞交

5.1投標(biāo)截止時間(開標(biāo)時間):**2 5 ** ** 1 0 0 0 (北京時間)

5.2投標(biāo)文件送達(dá)地點(diǎn): 深圳國際量子研究院(深圳市福田區(qū)福田保稅區(qū)檳榔道**號深圳國際量子研究院**4)

5 .3開標(biāo)地點(diǎn): 深圳國際量子研究院(深圳市福田區(qū)福田保稅區(qū)檳榔道**號深圳國際量子研究院**4)

6. 發(fā)布公告的媒體

6.1 本公告同時在《中國國際招標(biāo)網(wǎng)》、《 中國 招標(biāo)投標(biāo)公共服務(wù)平臺》上發(fā)布。 投標(biāo)人在投標(biāo)前應(yīng)在必聯(lián)網(wǎng)(https://www.ebnew.com)或機(jī)電產(chǎn)品招標(biāo)投標(biāo)電子交易平臺(https://www.chinabidding.com)完成注冊及信息核驗。評標(biāo)結(jié)果將在必聯(lián)網(wǎng)和中國國際招標(biāo)網(wǎng)公示。

7. 聯(lián)系方式

招標(biāo)人: 深圳國際量子研究院

地址: 深圳市福田區(qū)福田保稅區(qū)檳榔道**號

聯(lián)系人: 老師

聯(lián)系方式 ****-********-****

招標(biāo)機(jī)構(gòu): 深圳市閃購信息科技有限公司

地址: 深圳市南山區(qū)桃源街道學(xué)苑大道U創(chuàng)大廈東座**2室

郵編: ******

聯(lián)系人: 林福宏、林榮航、羅錦燕

電話: ****-********

電子郵箱: bid@samgoutech.com

8. 其他補(bǔ)充說明

8 .1 賬號信息

人民幣賬戶:

開戶名稱:深圳市閃購信息科技有限公司

人民幣賬戶信息(僅接收人民幣用):

銀行帳號:******************9(Swift code: CIBKCNBJ**8)

開戶銀行:中信銀行深圳香蜜湖支行

美元賬戶信息(僅接收美元用):

銀行帳號:************(Swift Code:BKCHCNBJ**A)

開戶行:中國銀行深圳文錦渡支行

8 .2 獲取招標(biāo)文件的方式

8.2.1招標(biāo)文件獲取方式:本項目采用線上發(fā)售招標(biāo)文件方式,有意購買標(biāo)書的潛在投標(biāo)人,請務(wù)必于招標(biāo)文件獲取截止時間前 在招標(biāo)機(jī)構(gòu)網(wǎng)站(https://www.aliwork.com/o/newgysbm?uid=SG-MEIBUG-****)進(jìn)行在線報名并獲取招標(biāo)文件。

8.2. 2 如有操作疑問請聯(lián)系 招標(biāo)機(jī)構(gòu)。

深圳市閃購信息科技有限公司

****-**-**



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