一、項目基本情況
原公告的采購項目編號：招設****A****9(招案****-****)
原公告的采購項目名稱：上海交通大學化學機械拋光機（cmp）
首次公告日期：****年**月**日
二、更正信息
更正事項：采購文件
更正內容：
1.招標文件第一章采購公告的采購需求及招標文件第三章技術規(guī)格與商務要求“一、貨物需求一覽表”中的簡要技術要求調整為“8英寸化學機械拋光，實現(xiàn)晶圓干進濕出，盤間自動傳輸晶圓，配有研磨液供液機?！?。
2.招標文件第三章技術規(guī)格與商務要求“二、設備要求及技術規(guī)格”中★項2和3調整為“2. ★ 實現(xiàn)晶圓的干進濕出。3. ★ 配置研發(fā)型研磨液供液機Slurry Delivery System（SDS） 1臺及以上數(shù)量。每臺SDS的研磨液儲量大于等于**升，流量可調節(jié)?！?。
3.招標文件第三章技術規(guī)格與商務要求“三、商務要求-7.驗收標準”內容調整為“驗證所有設備技術規(guī)格。8寸TGV面銅最大去除量大于等于** 微米；滿足銅去除速率：粗拋銅速率≥1.5微米每分鐘，一分鐘去除量片內非均勻性≤7%（標準方差除以平均值，按片上任意測量5點計算）；精拋銅速率≥0.8微米每分鐘，一分鐘去除量片內非均勻性≤5%（標準方差除以平均值，按片上任意測量5點計算）；碟形凹陷≤0.4微米；粗糙度≤0.5納米?！薄?
4.投標文件遞交截止及開標時間延期至****年**月6日 **:**:**。
更正日期：****年**月**日
三、其他補充事宜
四、凡對本次公告內容提出詢問，請按以下方式聯(lián)系。
1.采購人信息
名 稱：上海交通大學
地址：上海市閔行區(qū)東川路**0號
聯(lián)系方式：招采辦聯(lián)系人:王老師 **1-******** 技術聯(lián)系人:臧老師 **1-********
2.采購代理機構信息
名 稱：上海中世建設咨詢有限公司
地 址：上海市普陀區(qū)曹楊路**8弄**號（中世辦公樓）
聯(lián)系方式：沈思駿、陳沁雯、李安琪 **1-********
3.項目聯(lián)系方式
項目聯(lián)系人：沈思駿、陳沁雯、李安琪
電 話： **1-********
