更正公告
一、項(xiàng)目基本情況
原公告的采購(gòu)項(xiàng)目編號(hào) :SDGP********************1
原公告的采購(gòu)項(xiàng)目名稱:空天信息大學(xué)(籌)光刻及表征設(shè)備采購(gòu)項(xiàng)目(****6)
首次公告日期:****年**月**日
二、更正信息
更正事項(xiàng): 采購(gòu)文件
更正內(nèi)容:
1包項(xiàng)目需求和技術(shù)方案-貨物明細(xì):4;8英寸光刻機(jī),原內(nèi)容:1.光刻分辨率: ≤ 0.8 ?m(真空接觸、光刻膠厚度≤ 1 ?m時(shí)、等間距圖形Line/Space=1:1,**0mm范圍內(nèi)5點(diǎn)); ≤3.0 ?m(**?m間隙,光刻膠厚度≤ 1 ?m時(shí),等間距圖形Line/Space=1:1,**0mm范圍內(nèi)5點(diǎn));->變更為:1.光刻分辨率: ≤ 1 ?m(真空接觸、光刻膠厚度≤ 1 ?m 時(shí)、等間距圖形 Line/Space=1:1,**0mm 范圍內(nèi) 5 點(diǎn)); ≤3.0 ?m(**?m 間隙,光刻膠厚度≤ 1 ?m 時(shí),等間距圖形Line/Space=1:1,**0mm 范圍內(nèi) 5 點(diǎn));。
1包項(xiàng)目需求和技術(shù)方案-貨物明細(xì):4;8英寸光刻機(jī),原內(nèi)容:6.曝光燈:LED曝光燈,可通過軟件連續(xù)調(diào)節(jié)和設(shè)定光強(qiáng),使用壽命>****小時(shí),無(wú)需氣體冷卻,曝光光強(qiáng):≥ **mW/cm^2 @**5nm;≥ **0mW/cm^2 @UV全波段,光強(qiáng)均勻度:≤ ±2.5%@8英寸;->變更為:6.曝光燈:LED 曝光燈,可通過軟件連續(xù)調(diào)節(jié)和設(shè)定光強(qiáng),使用壽命>**** 小時(shí),無(wú)需氣體冷卻,曝光光強(qiáng):≥ **mw/cm^2 @**5nm;≥ **mw/cm^2 @UV全波段,光強(qiáng)均勻度:≤ ±2.5%@8 英寸;。
更正日期:****年**月**日
三、其他補(bǔ)充事宜
無(wú)
四、凡對(duì)本次公告內(nèi)容提出詢問,請(qǐng)按以下方式聯(lián)系。
1.采購(gòu)人信息
名 稱:空天信息大學(xué)(籌)
地 址:山東省濟(jì)南市章丘區(qū)大學(xué)路2號(hào)
聯(lián)系方式:****-********
2 . 采購(gòu)代理機(jī)構(gòu)信息
名 稱:山東三木招標(biāo)有限公司
地 址:山東省濟(jì)南市市中區(qū)二環(huán)南路****號(hào)8樓**5室
聯(lián)系方式:****-********
3.項(xiàng)目聯(lián)系方式
項(xiàng)目聯(lián)系人:張兆冉
電 話:****-********