一、項(xiàng)目基本情況
原公告的采購項(xiàng)目編號：ZF****-**-****
原公告的采購項(xiàng)目名稱：中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)濕法工藝臺
首次公告日期：****年**月**日
二、更正信息
更正事項(xiàng)：采購文件
更正內(nèi)容：
我公司現(xiàn)對中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)濕法工藝臺招標(biāo)文件做出如下更正。此次更正為招標(biāo)文件的組成部分，具有同等效力。更正內(nèi)容與招標(biāo)文件不同之處，按本次更正內(nèi)容執(zhí)行。
項(xiàng)目更正內(nèi)容如下：
1.現(xiàn)對采購需求中“3.2.5后道-光刻工藝臺”技術(shù)參數(shù)進(jìn)行調(diào)整，調(diào)整后的技術(shù)參數(shù)如下：
| 3.2.5后道-光刻工藝臺 | |
| 1.主要功能 | 涂膠、顯影，需適配4英寸晶圓或?qū)?yīng)光刻掩膜版。需整片能夠正常涂膠顯影。 |
| 2.★電力 | 額定電壓**0 V，額定功率≤2 kW； |
| 3.★尺寸 | 內(nèi)寬：>**** mm； 加柜子外寬<**** mm； 外深：****-**** mm；（所有工藝臺的外深應(yīng)統(tǒng)一） 內(nèi)深：****-**** mm； 外高：能夠運(yùn)入**** mm高的通道 |
| 4.可穩(wěn)定維持溫度范圍 | 熱板可維持室溫-**0℃ |
| 5.★勻膠機(jī)、顯影機(jī)、熱板 | 3*旋涂勻膠機(jī)、1*噴淋勻膠機(jī)、4*熱板、1*HMDS箱，留出顯影空間和清洗空間 |
| 6.配件柜配置 | 須配置一個尺寸為高2m-2.3m，寬**cm-**cm，深**cm-**cm的配件柜。 |
| 7.計(jì)時器配置 | 須配置一個精確到秒的計(jì)時器 |
| 8.★廢液排放（原液廢料） | 有機(jī)排、堿排到廠務(wù)；所有廠務(wù)排放均向下（到地面） |
| 9.★廢液收集口 | 有機(jī)（含TMAH，連到有機(jī)排）、KOH（連到堿排） |
| **.★廢水（廢液+大量水）排放 注：和廢液不同 | 一般排、有機(jī)排、堿排到廠務(wù)（一般排水：不含有害化學(xué)品的廢水** CMH，其余2.4 CMH）；所有廠務(wù)排放均向下（到地面） |
| **.★廢氣排放 | 有機(jī)排、堿排、熱排到廠務(wù)（每種**0 CMH）；所有廠務(wù)排放均向下（到地面） |
| **.臺面材質(zhì) | 實(shí)心，防有機(jī)（不銹鋼） |
| **.空白臺面 | 需要 |
| **.★廠務(wù)DI、N2、市政水、工藝真空需求 | DI：可適應(yīng)0.3barg，可適應(yīng)最大流量**L/min，可適應(yīng)平均流量0-**L/min； N2：可適應(yīng)最大流量**0SLPM； 所有資源接口均向下（到地面） |
更正日期：****年**月**日
三、其他補(bǔ)充事宜
無
四、凡對本次公告內(nèi)容提出詢問，請按以下方式聯(lián)系。
1.采購人信息
名 稱：中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)
地址：合肥市金寨路**號
聯(lián)系方式：宣老師、沈老師 ****-********
2.采購代理機(jī)構(gòu)信息
名 稱：安徽省招標(biāo)集團(tuán)股份有限公司
地 址：合肥市紫云路**8號
聯(lián)系方式：應(yīng)急客服電話：****-********（接聽時間：8:**-**:**,**:**-**:**，節(jié)假日除外。潛在供應(yīng)商應(yīng)優(yōu)先撥打項(xiàng)目聯(lián)系人聯(lián)系電話，無人接聽時再撥打該“應(yīng)急客服電話”）
3.項(xiàng)目聯(lián)系方式
項(xiàng)目聯(lián)系人：劉志凌、張文奇、陳鵬飛（****室）
電 話： ****-********、********、********、**********0
